Electrode comb, micromechanical component and manufacturing method for an electrode comb, and a micromechanical component

Die Erfindung betrifft einen Elektrodenkamm (52, 54) fur ein mikromechanisches Bauteil, welcher so ausgebildet ist, dass mindestens zwei Elektrodenfinger (52a, 54a) an einem ersten Ende an einem ersten Befestigungsteil (52b, 54b) befestigt sind und an einem dem ersten Ende gegenuberliegenden zweiten Ende an einem zweiten Befestigungsteil (52b, 54b) befestigt sind. Zusatzlich betrifft die Erfindung ein mikromechanisches Bauteil mit einem Stator-Elektrodenkamm (54) und einem Aktor-Elektrodenkamm (52), zwischen denen eine Spannung (U) anlegbar ist, wobei durch Anlegen der Spannung (U) zwischen dem Stator-Elektrodenkamm (54) und dem Aktor-Elektrodenkamm (52) der Aktor-Elektrodenkamm (52) um eine Drehachse (56) des Aktors-Elektrodenkamms (52) drehbar ist und wobei die Drehachse (56) des Aktor-Elektrodenkamms (52) mindestens eine Oberflache eines Elektrodenfingers (54a) des Stator-Elektrodenkamms (44, 54) senkrecht durchsticht. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren fur einen Elektrodenkamm (52, 54) und ein Herstellungsverfahren fur ein mikromechanisches Bauteil.