Procédé de nettoyage d'une zone superficielle recouverte de contaminant ou de matériau indésirable

2007 
L'invention concerne un procede de nettoyage d'une surface recouverte au moins partiellement de contaminant ou de materiau non desire par application d'hydrogene atomique. L'invention concerne egalement une unite d'irradiation permettant de proceder au nettoyage. Dans le procede de l'invention, l'hydrogene atomique est genere par dissociation de l'hydrogene moleculaire dirige sur une surface contenant un materiau catalytique, ce qui provoque la dissociation d'au moins une partie de l'hydrogene moleculaire en hydrogene atomique. La surface comprenant le materiau catalytique est situee a proximite de la surface a nettoyer et est dimensionnee de sorte que la zone superficielle totale corresponde a au moins deux fois la zone superficielle de la region superficielle a nettoyer. Le procede permet le nettoyage efficace et simple de la region superficielle.
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