Dispositifs à base de couches minces ferroelectriques hautement accordables sous champ faible

Nous presentons la conception et la caracterisation de condensateurs de type Metal/Ferroelectrique/Metal (MFM) a base de couches minces de BaxSr1-xTiO3 (x=2/3). La caracterisation du dispositif agile montre des proprie-tes au-dela de l’etat de l’art, avec une accordabilite de l’ordre de 73% sous un champ electrique de 70 kV/cm a 2,45 GHz.