微机电系统（MEMS）惯性敏感器的性能

采用先进的微加工技术生产了许多小型低成本硅惯性敏感器，这些惯性敏感器的性能高，坚固耐用，且具有其固有的对称性，这些敏感器用专用集成电路集成后，可持装成一个３ｃｍ见方的扁平组件，并可用５Ｖ直流单电源工作。