Dispositif d'exposition, procédé de fabrication de dispositif, procédé de nettoyage et élément de nettoyage

La presente invention concerne un dispositif d'exposition qui comprend : un premier element capable de former une section d'immersion de liquide, utilisant un premier liquide, de maniere a recouvrir un trajet optique, destine a une lumiere d'exposition, a l'aide du premier liquide ; un second element capable de former une section d'immersion de liquide, utilisant un second liquide, a un emplacement eloigne du premier element ; et un generateur d'oscillations permettant d'appliquer des oscillations sur le second liquide entre un element predetermine et le second element. L'element predetermine est nettoye a l'aide du second liquide.