Dispositif mems comprenant un actionneur apte a generer un mouvement d’entrainement a hysteresis.

L'invention concerne un dispositif auto-assemble, forme par gravure dans un bloc en materiau semi-conducteur, la gravure etant pratiquee dans une epaisseur superieure a 10µm, le dispositif comprenant les elements suivants un element entraine dente (10), un element d'entrainement (250) apte a engrener sequentiellement avec l'element entraine dente (10), un actionneur (20) apte a deplacer l'element d'entrainement (250) selon un mouvement d'hysteresis de sorte que l'element d'entrainement (250) engrene avec des dents (11, 12, 13) successives de l'element entraine 10), l'actionneur (20) incluant un module d'actionnement (201, 202) comprenant au moins un peigne fixe (225, 226) et un peigne mobile (235, 236), chaque peigne incluant une serie de doigts, le peigne mobile (235, 236) etant dispose en regard du peigne fixe (225, 226) de sorte que des doigts du peigne fixe et des doigts du peigne mobile s'intercalent les uns entre les autres, caracterise en ce que le peigne mobile (235, 236) est apte a etre deplace par rapport au peigne fixe (225, 226) selon une direction parallele aux doigts des peignes lors de l'application d'une difference de potentiels entre le peigne fixe et le peigne mobile, pour deplacer l'element d'entrainement (250) dans une direction correspondante.