탄화불소 박막의 제조방법

본 발명은 초발수성 및 고절연성의 불소계고분자에 전도성을 부여함으로써 산업적으로 널리 사용되는 DC 및 MF 전원 방식으로도 안정적으로 플라즈마를 형성하여, 보다 낮은 에너지에서도 스퍼터링이 가능한 탄화불소 박막의 제조방법 및 이의 제조를 위한 연속적인 롤투롤 방식의 스퍼터링 증착 시스템에 관한 것이다.