Vorrichtung zur plasma-behandlung von hohlkörpern

Es wird eine Vorrichtung zur Plasma-Behandlung von Werkstucken, insbesondere Hohlkorpern, mit einer Behandlungszone (19), in der das Werkstuck (7) mittels einer Haltevorrichtung (6) aufgenommen wird und eine an ein elektromagnetisches Feld angeschlossene Elektrodenanordnung (11) zur Erzeugung eines Plasmas und mit einer Einrichtung zur Einleitung eines Prozessgases in einen Plasmabereich innerhalb der Behandlungszone beschrieben. Die Elektrodenanordnung (11) weist zumindest an ihrer dem Plasmabereich zugewandten Oberflache ein dielektrisches Schutzelement (41) zur Vermeidung von Oberflachenbeeintrachtigungen des zu behandelnden Werkstucks (7) bei dessen Einfuhrung, Lagerung wahrend der Behandlung und Entnahme auf. Die Vorrichtung zeichnet sich durch wenigstens ein aus einem dielektrischen Kunststoff gebildetes, an der Haltevorrichtung vorgesehenes Fixierelement zur Festlegung des Werkstucks darin aus.