光学システム、特にマイクロリソグラフィ―に用いられる投影照明ユニット

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 特にスロット状の視野或いは非回転対称照明 を伴う光学システム、特にマイクロリソグラフィーに用 いられる投影照明ユニットを提供する。 【解決手段】取り付け台７又は内側リングに配置されて いる光学エレメント１、特にレンズ又はミラーと、アク チュエータ８ａ、８ｂ及び９ａ、９ｂとを有する。複数 のアクチュエータ８ａ、８ｂ及び９ａ、９ｂは、張力及 び／又は圧縮力を発生させるために半径方向力−変位伝 動装置を介して変形可能な内側リングに作用する。