Yof계 분말의 제조방법

본 발명은, Y 2 O 3 분말과 YF 3 분말을 혼합하는 단계 및 Y 2 O 3 분말과 YF 3 분말의 혼합 분말을 열처리하여 YOF계 분말을 합성하는 단계를 포함하며, 상기 Y 2 O 3 분말과 상기 YF 3 분말은 1:2∼2:1의 중량비로 혼합하고, 상기 열처리는 400∼1400℃의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 YOF계 분말의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 오염입자 발생이 적고 내플라즈마 특성이 우수한 YOF계 분말을 간단한 공정으로 제조할 수 있고 낮은 비용으로 순도가 높은 YOF계 분말을 제조할 수 있다.