CaAs(100)热退火表面的变角XPS定量分析
2000
利用变角X射线光电子能谱(XPS)及其层状结构的计算程序分析和计算CaAs(100)在600-675℃热退火处理后表面组分/深度的定量变化。在GaAs表面氧化物与衬底之间存在一过渡层,即弛预层,该层在自然情况下为富As的结构,经600℃以上的温度退火后,成为富Ga的结构,实验和计算发现该厚度的Ga的相对含量随退火温度增加而增大,即弛豫层中的Ca含量由53.4%变为62.1%,弛豫层厚度由1.3nm
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