アーク蒸発源装置、その駆動方法、及びイオンプレーティング装置

(57)【要約】 【課題】 カソード材料が低融点の材料からなる場合に おける薄膜の表面の荒れを防止することができるアーク 蒸発源装置、その駆動方法、及びイオンプレーティング 装置提供する。 【解決手段】 アノード（５）と、カソードたる蒸発源 電極２と、アノード（５）と蒸発源電極２との間に矩形 波交流のアーク放電電流を供給する電流制御装置３とを 備えたものである