ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОРАЗМЕРНОЙ ФЕРРОЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ДОМЕННОЙ СТРУКТУРЫ ПЛЕНОК BiFeO3 МЕТОДАМИ ПЬЕЗОСИЛОВОЙ И РАСТРОВОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ

В работе представлены результаты экспериментальных исследований ферроэлектрической доменной структуры BiFeO3 методами пьезо-силовой и растровой электронной микроскопии. Показаны возможности отображения вертикального и латерального пьезоотклика пленки BiFeO3 на счет «обратного» пьезоэффекта методом пьезосиловой микроскопии, а также отображения ферроэлектрической доменной структуры пленок BiFeO3 методом растровой электронной микроскопии с использованием системы TLD-BSC в качестве детектора отраженных электронов. Было установлено, что за счет упругого взаимодействия электронного пучка с поверхностью BiFeO3 формируется пироэлектрический потенциал, который отображает неоднородно направленные домены. Определено, что при 0° поворота образца относительно TLD детектора отображается вертикальная составляющая поляризации BiFeO3, при повороте образца на 15° относительно TLD детектора отображается латеральная составляющая поляризации BiFeO3. Полученные результаты пьезосиловой и растровой электронной микроскопии коррелируют между собой, а значит могут быть использованы как независимые для исследования пьезоэлектрических характеристик материалов.