半導体装置、液晶表示装置、半導体装置の製造方法、液晶表示装置の製造方法

(57)【要約】 【課題】 高い信頼性を有する半導体装置を提供する。 【解決手段】 チャネル領域６ａ〜６ｄを有する薄膜電 界効果トランジスタ１９、２０、２２を備える半導体装 置であって、基板１と半導体膜とを備える。半導体膜 は、基板１上に形成され、薄膜電界効果トランジスタ１ ９、２０、２２のチャネル領域６ａ〜６ｄを含む。半導 体膜の上部表面２５ａ〜２５ｄは、半導体膜の表面層を 除去することにより平坦化されている。