製造装置、発光装置、および有機化合物を含む層の作製方法

【課題】　本発明は、ＥＬ材料の利用効率を高め、且つ、ＥＬ層成膜の均一性やスループットの優れた成膜装置の一つである蒸着装置及び蒸着方法を提供するものである。 【解決手段】 本発明は、蒸着室内において、蒸着材料が封入された容器９１１を６個設置した蒸着源ホルダ９０３が、基板に対してあるピッチで移動しながら蒸着を行うことを特徴とする。また、蒸着ホルダ９０３には搬送機構９０２ｂにより設置室９０５から搬送する。回転台９０７はヒーターを内蔵しており、蒸着ホルダ９０３に搬送する前に加熱しておくことでスループットを向上させることができる。 【選択図】　図５