A Study on the Properties of High Permittivity Composite Oxide Films Prepared by Sol-gel and Anodizing : 졸-겔 코팅과 양극산화에 의해 제조된 고유전율 복합 산화물 막의 특성에 관한 연구

본 논문은 알루미늄 전해 커패시터의 비용량 증대를 위하여 고전압 알루미늄 에칭 박에 Al2O3–TiO2 (Al–Ti) 와 Al2O3–BaTiO3 (Al–BT) 고유전율 복합 산화물 막을 제조하고 이들의 특성 변화에 대해 고찰한 한 것이다. 알루미늄박에 코팅한 TiO2막은 550°C에서 10분간 열처리시 결정화하...