Procédés de décapage à sec de films à base de bore et de carbone

Les modes de realisation de la presente invention concernent en general des procedes de decapage a sec de films a base de bore et de carbone. Dans un mode de realisation, des plasmas alternes d'hydrogene et d'oxygene sont utilises pour retirer un film a base de bore et de carbone. Dans un autre mode de realisation, un plasma cocourant d'oxygene et d'hydrogene est utilise pour retirer un film contenant du bore et du carbone. Un plasma a base d'oxyde nitreux peut etre utilise en plus ou a la place de l'un quelconque des plasmas d'oxygene mentionnes ci-dessus. Dans un autre mode de realisation, un plasma genere a partir de vapeur d'eau est utilise pour retirer un film a base de bore et de carbone. Les procedes d'elimination de bore et de carbone peuvent egalement comprendre un procede facultatif d'elimination d'un polymere avant l'elimination des films a base de bore et de carbone. Le procede d'elimination du polymere consiste a exposer le film a base de bore et de carbone a du NF 3 dans le but d'eliminer de la surface du film a base de bore et de carbone tout polymere a base de carbone genere pendant un procede de decapage du substrat.