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シリコン基板中不純物・欠陥がデバイス性能に及ぼす影響と基板‐デバイス統合モデリングの必要性
シリコン基板中不純物・欠陥がデバイス性能に及ぼす影響と基板‐デバイス統合モデリングの必要性
2013
komati jun
kuboi nobuyuki
saga kouitirou
Keywords:
Metallurgy
Electronic engineering
Materials science
oxygen precipitation
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