クリーンルーム内への空気導入方法、クリーンルーム、局所設備内への空気導入方法、および局所設備

(57)【要約】 【課題】クリーンルーム内に無機物が発生しないように することのできる経済的な方法を提供する。 【解決手段】クリーンルーム１の天井面の図１における 右側部分に非ガラス系エアフィルター２１Ａを、左側部 分にガラス系エアフィルター２１Ｂを配置した。天井仕 切り板４および床下仕切り板５により、クリーンルーム １への空気導入経路を、非ガラス系エアフィルター側エ リア６Ａとガラス系エアフィルター側エリア６Ｂとに分 割した。非ガラス系エアフィルター２１Ａから吹き出す 空気の速度Ｖ 1 をガラス系エアフィルター２１Ｂから吹 き出す空気の速度Ｖ 2 より大きくした。