Mehrschichtiges Mikroventil mit integriertem elektrischem Antrieb

Es wird ein mehrschichtiges Mikroventil (1) mit integriertem elektrischen Antrieb vorgeschlagen. Es verfugt uber einen Schichtkorper (3) mit rechteckformigem Umriss, der mehrere in einer Schichtungsrichtung aufeinanderfolgende Schichten (4) enthalt. Unter diesen Schichten (4) befindet sich eine mit mindestens einer Ventiloffnung ausgestattete Offnungsschicht (7) und eine mit einem Ventilglied ausgestattete Steuerschicht (9). Zur elektrischen Kontaktierung sind an mindestens einem Eckbereich (34) der Steuerschicht (9) und/oder der Offnungsschicht (7) elektrische Signalleiter (26) vorgesehen, die im seitlichen Bereich des Schichtkorpers (3) bis zur Hohe der Abdeckschicht (11) oder an dieser vorbei gefuhrt sind.