Các tính chất quang, điện của màng dẫn điện trong suốt ZnO: Ai chế tạo bằng phương pháp SOL-GEL

Mang dẫn điện trong suốt ZnO:Al được chế tạo bằng phương phap sol-gel với chất ban đầu Zn(CH3COO)2.2H2O, chất pha tạp Al(NO3)3.9H2O, chất tạo phức MEA va dung moi 2-methoxyethanol. Phổ XRD cho thấy mang co cấu truc đa tinh thể wurtzite khi ủ nhiệt 1 giờ ở 500oC trong khong khi. Độ dẫn điện thay đổi theo điều kiện moi trường ủ nhiệt, cụ thể khi ủ trong chân khong (10-3 Torr) độ dẫn điện co thể tăng len khoảng 103 lần. Điện trở thấp nhất của mang đạt 372 / với ham lượng pha tạp Al 2%. Độ truyền qua của mang T lớn hơn 85%. Ảnh SEM phân giải cao cho thấy độ đồng đều của mang tạo bằng phương phap sol-gel.