Appareil et procede permettant de generer un plasma

L'invention concerne un appareil comprenant une chambre de traitement de semi-conducteur, un generateur de plasma, et un tuyau reliant une chambre de traitement de semi-conducteur et le generateur de plasma. Le generateur de plasma comprend une chambre de generation, un generateur a radiofrequences qui genere un plasma ionique dans la chambre de generation, et un dispositif magnetique qui confine d'abord le plasma dans une region centrale de la chambre de generation.