氮气氛下(100)织构金刚石薄膜的成核与生长研究

利用热丝化学气相沉积法研究了氮气浓度对金刚石薄膜成核和生长的影响.实验发现氮气的 加入对金刚石成核密度影响不大，但促进了已形成的金刚石核的长大.适量的氮气不仅使金 刚石生长速率得到很大的提高，而且稳定了金刚石薄膜(100)面的生长，使金刚石薄膜具有 更好的(100)织构.利用原位光发射谱对衬底附近的化学基团进行了研究.研究表明，氮气的 引入使得金刚石生长的气相化学和表面化学性质发生了很大变化.含氮基团的萃取作用提高 了金刚石表面氢原子的脱附速率，从而提高了金刚石膜的生长速率.而含氮基团的选择吸附 使金刚石