Endformnahe Mikrobauteile durch superplastische Umformung von metallischem Massivglas

Kurzfassung Das metallische Massivglas Zr46.8 Ti8.2 Cu7.5 Ni10 Be27.5 (V4) ist aufgrund seiner guten Festigkeitseigenschaften und seiner glatten Oberflache ein geeignetes Material fur mechanisch beanspruchte Mikrobauteile. Die grose Stabilitat dieses Glases gegen Kristallisation erlaubt die endformnahe Herstellung von Mikrobauteilen durch superplastische Formgebung unter geringen Drucken bei Temperaturen oberhalb des Glasubergangs. Durch Pressen des V4-Glases mit einem Druck von 5 MPa bei 653 K in tiefgeatzte Si-Formen bzw. in nach dem UV-LIGA-Verfahren hergestellte NiCo-Pressformen konnen Mikrobauteile von bis zu 500 μm Dicke, mit Detailabmessungen von weniger als 50 μm, mit hoher Prazision und Oberflachengute hergestellt werden.