圧電素子、インクジェットヘッド及びこれらの製造方法、並びにインクジェット式記録装置

【課題】圧電素子において結晶性及び（００１）面結晶配向性の良好なペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層を形成し、この圧電素子の特性ばらつきを低減すると共に、耐電圧及び信頼性を向上させる。 【解決手段】基板１１上に、チタン又は酸化チタンを含有する貴金属からなる第１の電極層（厚み０．０２μｍ〜０．２μｍ）１４を設け、この第１の電極層１４上に、菱面体晶系又は正方晶系のペロブスカイト型酸化物（ＰＺＴ等）からなる圧電体層１６を形成して、該圧電体層１６を（００１）面に優先配向させる。 【選択図】 図１