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6H-SiC 기판 위에 혼합소스 HVPE 방법으로 성장된 AlN 에피층 특성
6H-SiC 기판 위에 혼합소스 HVPE 방법으로 성장된 AlN 에피층 특성
2020
ParkJungHyun
Kyoung-Hwa Kim
Jeon Injun
Hyung Soo Ahn
Min Yang
Sam Nyung Yi
Cho Chae Ryong
Kim Suck Whan
Keywords:
Materials science
Engineering physics
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