磁性層パターンの形成方法、磁気抵抗素子の製造方法、及び磁気記憶媒体の製造方法

【課題】磁気特性の安定性を向上した磁性層パターンの形成方法、磁気抵抗素子の製造方法、及び磁気記憶媒体の製造方法を提供する。 【解決手段】磁性層１２に保護層とレジストマスク１３を積層し、レジストマスク１３をマスクにして保護層パターン１４Ｐを得た後に、レジストマスク１３を水素プラズマＰＬＨに晒して分解除去させた。そして、保護層パターン１４Ｐをハードマスクにして磁性層１２のパターンを得た後に、磁性層１２のパターンを水素プラズマＰＬＨに晒して、磁性層１２のパターンに付着したハロゲン系の活性種を除去した。 【選択図】図１０