An optical assembly with a thermally conductive component

Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung, insbesondere Projektionsbelichtungsanlage fur die Mikrolithographie, umfassend: ein fur Strahlung bei einer Nutzwellenlange transmissives oder reflektives optisches Element (1) mit einem optisch genutzten Bereich (4), sowie ein warmeleitendes Bauelement (6), welches ein Material mit einer Warmeleitfahigkeit von mehr als 500 W m –1 K –1 aufweist und welches auserhalb des optisch genutzten Bereichs (4) des optischen Elements (1) angeordnet ist. Die Erfindung betrifft auch eine optische Anordnung mit einer Einrichtung zur Positionierung eines lichtempfindlichen Substrats, wobei das warmeleitende Bauelement (6) an der Einrichtung, insbesondere an einer Oberseite der Einrichtung, angebracht ist. Bei dem Material des warmeleitenden Bauelements (6) kann es sich insbesondere um Diamant handeln.