用旋转喷镀法制备Ni—Zn—Co铁氧体薄膜

用旋转喷镀法制备Ni—Zn—Co铁氧体薄膜。通过FeCl2＋NiCl2＋ZnCl2＋CoCl2组成的还原液和CH3COONH4＋ NH3H2O＋NaNO2组成的氧化液不断地向转盘上的玻璃基片喷镀，在90℃下反应制备了厚度1—2μm的Ni—Zn—Co铁氧体薄膜。利用X射线衍射（XRD）确定样品的物相，用扫描电子显微镜（SEM）观察分析了薄膜的形貌，用振动样品磁强计（VSM）和矢量网络分析仪测量了薄膜的磁性能。