基板の検査装置、および、基板の検査方法

【課題】従来に比べて欠陥候補を高速に抽出することが可能な電子線を用いた基板の検査装置を提供する。 【解決手段】回路パターンを有する基板に電子ビームを照射し、基板を一定速度又は加減速しながら連続で移動させ、該移動による位置をモニタし、基板の座標に応じて電子ビームの照射位置を制御し、移動の速度より遅い速度で基板の部分領域の画像を検出し、該検出した画像に基づいて欠陥候補を検出し、検出された欠陥候補をマップ形式で表示する構成を備える。 【選択図】図４