ロール・ツー・ロール成膜装置及びその成膜方法

(57)【要約】 【課題】本発明は、基体以外の場所に堆積した粉体およ び膜の清掃に時間を要することなく、メインテンス性お よび装置の稼動率を向上させたロール・ツー・ロール成 膜装置およびその方法を提供することを目的とするもの である。 【解決手段】本発明は上記目的を達成するために、 成 膜チャンバーをその内部に有すると同時にガスゲートを 介して連結された複数の真空チャンバーで構成され、帯 状基体を成膜チャンバーの側壁の１つとするようにし前 記連結された複数の真空チャンバーの長手方向に移動さ せながら前記帯状基体上に連続的に成膜するロール・ツ ー・ロール成膜装置又は方法において、前記成膜チャン バーが前記真空チャンバーの外へ引き出され該真空チャ ンバーに対して取り外し可能に構成されていることを特 徴とするものである。