Contrôle de miroirs pivotants

L'invention concerne un dispositif et un procede correspondant de controle de l'orientation d'au moins un miroir (4), notamment d'une pluralite de miroirs dans un champ de miroirs tel qu'utilise par exemple dans un systeme d'eclairage par projection pour la microlithographie. Selon l'invention, un dispositif de detection (1) est prevu pour detecter la lumiere reflechie par le miroir, et une source de motif (2) fournit un motif (3) au moyen de sources de lumiere variables dans l'espace et/ou dans le temps, le motif etant reflechi par le ou les miroirs sur le dispositif de detection. L'orientation du miroir peut etre determinee a partir de l'image reflechie detectee par le dispositif de detection.