Broche de support de substrat, dispositif de support de substrat et système de prélèvement et de placement de substrat
2015
L'invention concerne une broche de support de substrat (10), un dispositif de support de substrat et un systeme de prelevement et de placement de substrat, la broche de support de substrat (10) etant utilisee pour soutenir un substrat (3), la broche de support de substrat (10) comprenant un corps de tige (11), une extremite de support du corps de tige (11) etant pourvue d'elements rotatifs (12, 13), et les elements rotatifs (12, 13) pouvant rouler le long de la surface du substrat (3). Le dispositif de support de substrat comprend un bossage de support (20) et une pluralite de broches de support de substrat (10) penetrant a travers le bossage de support (20) dans la direction de l'epaisseur du bossage de support (20). Le systeme de prelevement et de placement de substrat comprend une main mecanique et le dispositif de support de substrat susmentionne. Par comparaison a l'etat de la technique, la solution facilite le reglage du substrat a une position predefinie dans le cas de reduction de l'endommagement du substrat, de maniere que le systeme de prelevement et de placement de substrat puisse prelever et placer avec precision le substrat et ainsi reduire le cout de production.
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