Ｒｕ−Ｍ−Ｏ微粉末、その製造方法、及びそれらを用いた厚膜抵抗体組成物

【課題】比抵抗が高く、かつ微細で粒径の揃った分散性に優れたＲｕ−Ｍ−Ｏ微粉末、その製造方法、及びそれを用いた静電気放電の耐性に優れた厚膜抵抗体組成物を提供する。 【解決手段】Ｒｕ化合物（Ａ）と、Ｎｂ又はＴａの少なくとも一種から選ばれる５Ａ族元素Ｍを含む５Ａ族金属化合物（Ｂ）とからＲｕ−Ｍ−Ｏ微粉末を製造する方法であって、Ｒｕ化合物（Ａ）に互いが相俟ってルチル型の結晶構造を有する固溶体を形成するのに十分な量の５Ａ族金属化合物（Ｂ）を配合した後、この配合物に十分な量のホウ素化合物（Ｃ）を混合する第１の工程、得られた混合物を５００〜１０００℃の温度で熱処理して、Ｒｕと５Ａ族金属Ｍとの固溶体、及び酸化ホウ素からなる熱処理物を形成させる第２の工程、及び得られた熱処理物に溶剤を加えて、酸化ホウ素を溶解させ除去する第３の工程を含むことを特徴とするＲｕ−Ｍ−Ｏ微粉末の製造方法などによって提供する。 【選択図】なし