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電子線ホログラフィーと集束イオンビームを用いた電界効果トランジスタ(MOSFET)断面の2次元電位分布解析
電子線ホログラフィーと集束イオンビームを用いた電界効果トランジスタ(MOSFET)断面の2次元電位分布解析
2002
ou su hikari
hirayama tukasa
katou naoko
佐々木 勝寛
saka kou yasu
Keywords:
Focused ion beam
MOSFET
Electron holography
Analytical chemistry
Materials science
Atomic physics
Optoelectronics
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