Sims-untersuchungen zur volumendiffusion von Al in Ge

Zusammenfassung Mittels Sekundarionen-Massenspektrometrie (SIMS) wurde die Volumendiffusion von Al in Ge untersucht. Es wurden 17 mit Al bedampfte Ge-Einkristalle bei Temperaturen zwischen 827 und 1178 K ausgelagert. Danach wurden die Konzentrationsverlaufe mit einem Cameca SMI 300-Sekundarionen-Massenspektrometer aufgenommen. Die daraus ermittelten Diffusionskoeffizienten lagen zwischen 8,2·10 −19 und 1,3·10 −12 cm 2 /s. Aus deren Temperaturabhangigkeit ergeben sich die Diffusionskenngroβen zu ΔH = 3,45 ± 0,04 eV und D 0 = (1,0 ± 0,5)·10 3 cm 2 /s, die mit Literaturwerten verglichen werden.