微波频率下Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜的介电特性随温度及外加偏压变化的检测

提出了一种新的结构来表征钛酸锶钡薄膜在微波频率下的介电特性，即在沉积有钛酸锶钡薄膜的氧化镁基片上制作了共面带阻滤波器,借助于共面带阻滤波器的谐振频率和Q值，通过比较其测量值与仿真值，可以得出钛酸锶钡薄膜的介电常数和介电损耗．在变温测试过程中，注意到金导电层的电导率对带阻滤波器的谐振频率和Q值有较大的影响，为了准确地得到钛酸锶钡薄膜的介电特性，仔细分析了金导电层对带阻滤波器频率响应曲线的影响，并在比较求值过程中消除了这一影响。