Antifouling film-coated substrate and a method of manufacturing the same

撥水性や撥油性等を有することで発揮される防汚性に優れるとともに、繰り返しの拭き取り操作等に対して防汚性の低下が抑制された耐摩耗性に優れる、含フッ素有機ケイ素化合物被膜を有する防汚膜付き基体を提供する。 防汚膜付き基体３は、被成膜面１ａが水分を含む雰囲気中に少なくとも曝された透明基体１と、前記透明基体１の前記被成膜面１ａ上に乾式法により形成された含フッ素有機ケイ素化合物被膜２とを有する。