Ａｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットおよびＡｇ合金膜、Ａｇ合金反射膜、Ａｇ合金導電膜、Ａｇ合金半透過膜

【課題】反射率や透過率等の光学特性に優れるとともに低い比抵抗値を有し、かつ、耐熱性、耐環境性等の各種耐性に優れ、熱処理後においても反射率が大きく変化せず、使用環境下においても反射率や透過率等の光学特性及び比抵抗値が大きく変化しないＡｇ合金膜を形成可能なＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットを提供する。 【解決手段】本発明のＡｇ合金膜形成用スパッタリングターゲットは、Ｓｂを０．２原子％以上２．０原子％以下、Ｍｇを０．０５原子％以上１．００原子％以下、残部がＡｇと不可避不純物とからなる組成を有することを特徴とする。 【選択図】なし