光波面測定装置、光波面測定方法、及び光源装置の調整方法

2003 
光波面測定装置(2,2a,42)は、光ヘッド装置(1,31)から射出された光束を第1光束と第2光束に分離する分離素子(7a,47a)と、第1光束から干渉縞を形成して表示する第1の干渉縞表示部(21,21a)と、第2光束の波面を光軸(AX2)を中心に回転させるドーブプリズム(13,53)と、これを透過した第2光束から干渉縞を形成して表示する第2の干渉縞表示部(22,22a)を有する。光源装置の調整においては、干渉縞表示部(21,22,21a,22a)に表示された干渉縞の形状を近づけるように、光ヘッド装置(1,31)のコリメータ(5)の位置を光軸方向に調整する。
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