Système de mandrin électrostatique et procédé pour accorder de façon radiale le profil de température sur la surface d'un substrat

La presente invention concerne un systeme de mandrin electrostatique pour conserver un profil de temperature souhaite sur la surface du substrat. Le systeme de mandrin electrostatique comprend un piedestal definissant un profil de temperature sensiblement uniforme sur la surface de celui-ci et un mandrin electrostatique supporte par le piedestal. Le mandrin electrostatique comporte une electrode de serrage et une pluralite d'electrodes chauffantes commandees independamment. Les electrodes chauffantes commandees independamment comprennent une electrode chauffante interne definissant une zone chauffante interne et une electrode chauffante peripherique definissant une zone chauffante peripherique, separees par une distance d'espacement. Le profil de temperature sur la surface du substrat peut etre accorde par la variation de caracteristiques thermiques de la zone thermique du piedestal, de la zone chauffante interne, de la zone chauffante peripherique, ou par la variation de la taille de la distance d'espacement entre l'electrode chauffante interne et l'electrode chauffante peripherique.