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적정 집속이온빔 (FIB) 이온 Dose 와 KOH Etching 을 이용한 나노구조의 제작
적정 집속이온빔 (FIB) 이온 Dose 와 KOH Etching 을 이용한 나노구조의 제작
2014
장기환
김충수
이현택
최정오
안성훈
Keywords:
Etching (microfabrication)
Etching
Doping
Analytical chemistry
Focused ion beam
Materials science
Optoelectronics
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