光メディアの反射層用スパッタリングターゲット、及び、その製造方法
2010
【課題】比較的価格の安いアルミを主成分としかつ希土類金属を使用しない、表面平滑性に優れた光メディア の反射層 用スパッタリングターゲット、及び、その製造方法 を 提供する。 【解決手段】光メディア の反射層 用スパッタリングターゲットは、Alを主成分とし、Ta及びNbからなる群より選択される1又は2種の元素を1〜10at%、及び、Agを0.1〜10at%含む。光メディア の反射層 用スパッタリングターゲットの製造方法は、Alを主成分とし、Ta及びNbからなる群より選択される1又は2種の元素を1〜10at%、及び、Agを0.1〜10at%含む組成を有する原料粉体を焼成する工程を備える。 【選択図】 なし
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