Stand der Technik

In diesem Kapitel wird zunachst ein kurzer Uberblick uber die ublichen Begriffe und den gegenwartigen technologischen Stand im Bereich der Mikrotechnik sowie der damit verbundenen Mikroproduktionstechnik gegeben. Anschliesend werden die Motivation und die Ziele des SPP 1476 dargestellt, in dessen Rahmen der fluiddynamische Antrieb entwickelt wird. Vor dem Hintergrund der Aufgabenstellung ordnen die weiteren Abschnitte die planaren Mehrkoordinatenantriebe in den allgemeinen Kontext der Vorschubantriebe ein und erklaren ihren grundlegenden Aufbau sowie ihre charakteristischen Eigenschaften. Abschliesend wird der Demonstrator des fluiddynamischen Vorschubantriebs vorgestellt, der den planaren Mehrkoordinatenantrieben zuzuordnen ist. Der Aufbau und die Funktionsweise dieses Antriebs stellen die Grundlagen fur die weiteren Untersuchungen im Rahmen dieser Arbeit dar.