ウェハレベルレンズアレイの製造方法、ウェハレンズアレイ、レンズモジュール及び撮像ユニット

【課題】光学性能が良好で、生産性に優れるウェハレベルレンズアレイの製造方法を提供する。 【解決手段】一対の型部材の間に、前記基板と前記複数の貫通孔に供給されたレンズ材料とを挟み込んでエネルギーを付加することにより前記レンズ材料を成形し硬化させる工程を有し、一対の型部材の少なくとも一方には先端面がレンズの一方の面を転写する形状に形成され、外径が貫通孔の内径よりも小さく形成された凸部が設けられ、該凸部を貫通孔に挿入してレンズ材料を変形させたときに、レンズ材料の一部が貫通孔の内面と凸部の外側面との間の隙間に入り、且つ、貫通孔の外部の基板の表面には到達しないように制御される。 【選択図】図４