셔터를 이용하는 진공증착막의 두께 모니터링 방법 및 이 방법을 채용하는 진공증착장치

본 발명은 셔터를 이용하는 진공증착막의 두께 모니터링 방법 및 이 방법을 채용하는 진공증착장치에 관한 것으로, 진공증착막의 두께 모니터링 방법은 진공증착장치의 제어부에서 챔버 내의 소스공급부에서 공급되는 물질에 의해 형성되는 기판상의 진공증착막의 두께를 모니터링하는 방법으로서, 챔버 내에서 진공증착막의 두께 또는 증착율을 측정하기 위한 센서 앞에 배치된 셔터를 제1 시간 동안 개방하는 제1 단계, 셔터를 제2 시간 동안 폐쇄하는 제2 단계, 및 제2 시간 동안의 진공증착막의 증착율을 제1 시간 동안 측정된 증착율에 기초하여 처리하는 제3 단계를 포함한다.