Verfahren zum Verpacken von Bauelementen

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung verpackter Bauelemente. Dazu werden auf einem plattenformigen Abdecksubstrat (1) rahmenformige Strukturen (15) mit einer Lucke (17) hergestellt. Das Abdecksubstrat (1) wird auf einem Tragersubstrat (18) befestigt und durchtrennt, so dass ein Verbundteil mit dem Tragersubstrat (18) und einzelnen durch die Graben (20) voneinander getrennten, aber uber das Tragersubstrat (18) miteinander verbundenen Abdeckteilen (21) erhalten wird. Das Verbundteil wird mit den rahmenformigen Strukturen (15) mit einem Funktionssubstrat (30) verbunden, so dass Kavitaten (40) definiert werden, welche Funktionsbereiche (34) des Funktionssubstrats (30) umschliesen. Durch die Lucken (17) in den rahmenformigen Strukturen wird ein Gasaustausch der Kavitat mit der Umgebung erreicht, der weitere Verarbeitungsschritte im Vakuum ermoglicht.