Old Web
English
Sign In
Acemap
>
Paper
>
유도 결합 플라즈마를 이용한 스퍼터-승화 증착 시스템의 공정 분석
유도 결합 플라즈마를 이용한 스퍼터-승화 증착 시스템의 공정 분석
2013
Yeong-Gun Yu
Ji-Seong Choe
Jeong-Hun Ju
Correction
Source
Cite
Save
Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI
[]