Calibration de lames de phase par interférométrie à 13 nm

Nous avons developpe un interferometre base sur le bimiroir de Fresnel pour calibrer une technique de depot d'une couche dephasante de molybdene sur des multicouches Mo-Si. L'epaisseur nominale de la couche dephasante de Mo variait de 10 a 80 nm. Les interferogrammes projetes sur un ecran fluorescent puis enregistres par une CCD refroidie etaient traites par une technique basee sur la transformee de Fourier spatiale de l'interferogramme, pour obtenir le dephasage optique entre une zone de reference et la zone dephasee. Nous avons montre la pertinence de cette technique interferometrique dont l'erreur potentielle sur l'epaisseur optique des plots est estimee a λ/100. La meme technique permet l'evaluation d'un profil de pente d'un front d'onde jusqu'a une frequence spatiale de l'ordre de a 0,5-1 mm -1 . Dans ce cadre, la sensibilite peut atteindre 0,4 μrad rms a 14 nm.