Halbleitersensor für eine dynamische Größe mit Elektroden in einer Rahmenstruktur

Eine Halbleiter-Beschleunigungsmesvorrichtung wird auf einem SOI-Substrat durch Mikro-Materialbearbeitung gebildet. Eine bewegliche Einheit wird an beiden Enden getragen, und ein Gewichtsteil ist im Ansprechen auf eine in Erfassungsrichtung ausgeubte Beschleunigung beweglich. Eine bewegliche Elektrode ist in einer Kammform mit dem Gewichtsteil integriert gebildet. In einem Paar vorkommende festangebrachte Elektroden in einer Kammform sind einseitig eingespannt und mit der beweglichen Elektrode verzahnt, um der beweglichen Elektrode gegenuberzuliegen. In einer Mehrzahl vorkommende Durchgangslocher sind in den Elektroden vorgesehen, so das die Elektroden eine Rahmenstruktur aufweisen, welche eine Reihe von rechtwinkligen Rahmen bildet. Diese Struktur reduziert das Gewicht jeder Elektrode, wahrend die Starke gegenuber einer Verdrehungskraft ansteigt. Die Wahrscheinlichkeit, das die Elektrode im Ansprechen auf eine Beschleunigung, welche in einer Richtung senkrecht zu der normalen Erfassungsrichtung ausgeubt wird, brechen, ist wegen des reduzierten Gewichts verringert.